[流氓锈才]

前天在做一台851设备的参数设置遇到了些问题，请有经验的印友们帮忙看一下：
1、在做曝光测试(plate coverage)点完start之后，出现下图附件中的错误提示，这是什么原因？
2、在做overlay时，测试文件里没有那个Overlay_UV-Setter851_xxx_xxx_xxx.sdf的文件，怎么生成？
3、想通过菜单里的Calibration里做overlay测试，但很快就完成了，版上打不出什么东西来，这是神马原因？