[流氓锈才]

前天在做一台851设备的参数设置遇到了些问题，请有经验的印友们帮忙看一下：
1、在做曝光测试(plate coverage)点完start之后，出现下图附件中的错误提示，这是什么原因？
2、在做overlay时，测试文件里没有那个Overlay_UV-Setter851_xxx_xxx_xxx.sdf的文件，怎么生成？
3、想通过菜单里的Calibration里做overlay测试，但很快就完成了，版上打不出什么东西来，这是神马原因？

[流氓锈才]

作者: pluginsbbs

SDF是出版测试的文件，没有它，出来肯定没有内容啊。
安装盘里有这个文件，可能是你们给删除或没找到，让工程师远程一下。

通过calibration里做也需要第二个图的界面里有这个文件？

[流氓锈才]

作者: pluginsbbs

实在不行，找工程师要
，，　　。

有认识的不？因为是客户的设备，有些东西还是不太方便

[流氓锈才]

大神们，继续支招，谢谢！